Kompakt kialakítású, sztenderd konfigurációjú, gazdaságos megoldás azok számára, akik most tervezik megtenni az első lépéseket a vákuumpárologtatás területén.

• Maximum 50 x 50 mm-es waferekhez
• Kompakt kialakítás
• Rövid szállítási idő
• Gyors és egyszerű telepítés
• Meglévő kesztyűsfülkébe utólag is könnyen beszerelhető

PROvap

• Kompakt és költséghatékony megoldás
• Egyszerű konfigurációs kialakítás
• Egyenletesség +/-3 %-ig (speciális geometriai kialakítással +/1 %-ig)
• Két méretben elérhető : PROvap 4G (waferméret: 100x100 mm vagy 100 mm átmérő) és PROvap 5G (waferméret: 150x150 mm vagy 150 mm átmérő)
• Több leválasztási forrás együttes használata (legfeljebb 8)

• Kompakt és költséghatékony megoldás
• Egyszerű konfigurációs kialakítás
• Egyenletesség +/-3 %-ig (speciális geometriai kialakítással +/1 %-ig)
• Két méretben elérhető : UNIvap 4G (waferméret: 100x100 mm vagy 100 mm átmérő) és UNIvap 5G (waferméret: 150x150 mm vagy 150 mm átmérő)
• Több leválasztási forrás együttes használata (legfeljebb 8)

OPTIvap

• Rugalmas, moduláris rendszer
• Önálló rendszer, de kesztyűs fülkébe is integrálható
• Multi-substrate és multi-mask eljárások
• Egyenletesség: +/- 3 % (speciális geometriai kialakítással +/1 %-ig)
• Az alapfelület mérete legfeljebb 150x150 mm vagy átmérő. 150 mm (6”) az OPTIvap 4 esetében, míg legfeljebb 200x200 mm vagy átmérő. 280 mm (8”) az OPTIvap 6 esetében

• Kesztyűs fülkébe integrálható
• Meglévő fülkébe utólag is beszerelhető
• Kompakt kialakítás
• Max. 50x50 mm-es mintaméret
• Legfeljebb 4 forrás
• Réteg egyenletesség < +/-5 %
• Gazdaságos megoldás
• Rövid szállítási idő

PEROvap

• Ideális eszköz a hatékony kutatás-fejlesztéshez
• Speciális rendszer kialakítás
• Speciális prekurzor forrás
• Magas stabilitás alacsony hőmérsékleten
• Stabil és meghatározott leválasztási folyamat
• Nagyvákuum körülmények
• Kiváló ismételhetőség
• Anyagkompatibilitás a nagyon hosszú élettartam érdekében